由于激光的相干性,?微型小曲率半徑雙凹球面擴束鏡表面或內(nèi)部微小疵點、微粒等會在準直后的激光束周圍產(chǎn)生雜散光斑,?會降低激光束質(zhì)量,?增大光能耗損, 因此在激光器產(chǎn)品中對微型擴束鏡的質(zhì)量要求具有與常規(guī)透鏡不同的更為嚴格的技術(shù)要求,?即表面粗糙度必須達到01004?Lm(?Ra)?,?屬準超光滑表面.
微型擴束鏡加工工藝的特點
(?1)?高速高壓與中速低壓相結(jié)合的工藝超光滑工藝應(yīng)該用低速低壓,?在杠桿光學機上主軸轉(zhuǎn)速在10ypm?以下,?壓強在200Pa?以下,?但這樣的參數(shù)取砂眼速度很慢,?所以選用高速高壓進行先期加工,?除取砂眼,?達到初步目的。
(?2)?超微粉拋光液與紅粉拋光液的使用一般拋光粉(?CeO2)?,?其顆粒為幾微米大小,?甚至幾十微米,?超光滑工藝要求1?微米以下,?才有較好的效果,?我們用沉降法達到超微粉顆粒,?也可選用紅粉(?FeO3)?,?會有更好的效果。
(?3)?特殊的拋光模的作用通常在低速低壓超光滑工藝中的拋光模不能用聚氨酯,?應(yīng)用柏油模,?并且要比常規(guī)的拋光模要軟一號,?而我們采用了特制的拋光模,?使用中速低壓,?并加入潤滑劑,?解決傳統(tǒng)式的缺陷,?效果很明顯。
(?4)?工作溫度控制一般情況下,?高效拋光時拋光液溫度為25~30?e?,?我們而超光滑拋光時工作溫度為20~?25?e?,根據(jù)拋光劑的種類與工件玻璃牌號經(jīng)過試驗,?確定了符合拋光模條件的更佳工作溫度。
(?5)?無拋光劑拋光超光滑的最后階段應(yīng)該加水拋光,?而我們更注重無雜質(zhì)的PH?值為7?的中性純凈水進行修正拋光。
(?6)?檢驗方法為防止在檢驗過程中的碰傷或誤檢、漏檢而影響質(zhì)量,?經(jīng)過研究,?我們選用了無觸點式的激光光斑檢驗法,?以確保產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定出廠合格率。
微型擴束鏡相對孔徑大,?又是凹球面,?要想達到高等級表面疵病質(zhì)量和準超光滑表面難度很大,?經(jīng)過試驗研究,?已取得了初步成效,?產(chǎn)品一次送檢合格率已達到80%?以上,?且生產(chǎn)效率也很滿意。堅信21世紀是光電的世紀,?激光領(lǐng)域的前景一定會越來越廣闊,?作者更愿與更多的激光器生產(chǎn)企業(yè)共同攜手合作,?生產(chǎn)出更多高質(zhì)量、低成本的激光準直擴束鏡,?為激光事業(yè)的發(fā)展作出更大的貢獻。
